?1臺(tái)深冷器可分別控制2個(gè)系統(tǒng)
?雙變頻器：DC變頻冷凍機(jī)與變頻泵實(shí)現(xiàn)了大幅節(jié)能
?省空間：設(shè)置面積減小23％
?省配線、省空間、省工時(shí)：電源線纜只有1根，冷卻水配管僅有1個(gè)系統(tǒng)
?符合SEMI規(guī)格、CE標(biāo)識(shí)
| 系列 | 設(shè)定溫度 范圍 | 冷卻能力 | 溫度 穩(wěn)定性 | 冷卻方式 | 循環(huán)液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZD | －30～90℃ | 9.5kW×2 | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | 氟化液 乙二醇水溶液（60％） |
