
?在HRZ系列的高性能基礎上,采用了DC變頻壓縮機,實現(xiàn)了節(jié)能
?溫度范圍和冷卻能力范圍大
?用于刷新循環(huán)塊的半導體裝置等,可平緩地對應過程條件的變化
?符合UL, SEMI規(guī)格及CE標識
| 系列 | 設定溫度 范圍 | 冷卻能力 | 溫度 穩(wěn)定性 | 冷卻方式 | 循環(huán)液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | -20~90℃ 10~60℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | 氟化液 清水 脫離子水(純水) 乙二醇水溶液(60%) |
?在HRZ系列的高性能基礎上,采用了DC變頻壓縮機,實現(xiàn)了節(jié)能?溫度范圍和冷卻能力范圍大?用于刷新循環(huán)塊的半導體裝置等,可平緩地對應過程條件的變化?符合UL, SEMI規(guī)格及CE標識系列設定溫度范圍冷卻能力溫度穩(wěn)定性冷卻方式循環(huán)液HRZ-20~90℃

?在HRZ系列的高性能基礎上,采用了DC變頻壓縮機,實現(xiàn)了節(jié)能
?溫度范圍和冷卻能力范圍大
?用于刷新循環(huán)塊的半導體裝置等,可平緩地對應過程條件的變化
?符合UL, SEMI規(guī)格及CE標識
| 系列 | 設定溫度 范圍 | 冷卻能力 | 溫度 穩(wěn)定性 | 冷卻方式 | 循環(huán)液 |
|---|---|---|---|---|---|
| HRZ | -20~90℃ 10~60℃ | 10kW | ±0.1℃ | 水冷冷凍式 | 氟化液 清水 脫離子水(純水) 乙二醇水溶液(60%) |