?防止真空回路及空氣中的污染物對元件設備造成影響。
?配管可快速拆裝。
| 系列 | 適合管子外徑 公制 | 適合管子外徑 英制 | 流量 L/min（ANR） | 過(guò)濾精度(μm) |
|---|---|---|---|---|
| ZFB10 | φ4，φ6 | φ3/16，φ1/4 | 10～20 | 30 |
| ZFB20 | φ6，φ8 | φ1/4 | 30～50 | 30 |
| ZFB30 | φ8，φ10 | φ3/8 | 75 | 30 |
| ZFB40 | － | φ1/2 | 100 | 30 |
?防止真空回路及空氣中的污染物對元件設備造成影響。?配管可快速拆裝。系列適合管子外徑 公制適合管子外徑 英制流量 L/min（ANR）過(guò)濾精度(μm)ZFB10φ4，φ6φ3/16，φ1/410～2030ZFB20φ6，φ8φ1/430～5030ZF
?防止真空回路及空氣中的污染物對元件設備造成影響。
?配管可快速拆裝。
| 系列 | 適合管子外徑 公制 | 適合管子外徑 英制 | 流量 L/min（ANR） | 過(guò)濾精度(μm) |
|---|---|---|---|---|
| ZFB10 | φ4，φ6 | φ3/16，φ1/4 | 10～20 | 30 |
| ZFB20 | φ6，φ8 | φ1/4 | 30～50 | 30 |
| ZFB30 | φ8，φ10 | φ3/8 | 75 | 30 |
| ZFB40 | － | φ1/2 | 100 | 30 |
