?將閥、基板、底座、管接頭緊湊地一體化。
?創(chuàng)新的單元集裝式。
?6mm寬的閥、安裝V060系列。
| 系列 | 形式 | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s?bar）］ | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|
| VV061 | 標(biāo)準(zhǔn) 大流量 | 有效截面積：0.11mm2 有效截面積：0.21mm2 | 0.55（標(biāo)準(zhǔn)） 0.23（帶節(jié)電回路） | －100kPa |
?將閥、基板、底座、管接頭緊湊地一體化。?創(chuàng)新的單元集裝式。?6mm寬的閥、安裝V060系列。系列形式流量特性23（AR）C［dm3/（ s?bar）］消耗功率（W）可真空使用VV061標(biāo)準(zhǔn)大流量有效截面積：0.11mm2有效截面積：0.21mm20
?將閥、基板、底座、管接頭緊湊地一體化。
?創(chuàng)新的單元集裝式。
?6mm寬的閥、安裝V060系列。
| 系列 | 形式 | 流量特性 2→3（A→R） C［dm3/（ s?bar）］ | 消耗功率（W） | 可真空使用 |
|---|---|---|---|---|
| VV061 | 標(biāo)準(zhǔn) 大流量 | 有效截面積：0.11mm2 有效截面積：0.21mm2 | 0.55（標(biāo)準(zhǔn)） 0.23（帶節(jié)電回路） | －100kPa |
